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Product laser

產品中心
板級TGV激光微孔設備
產品簡介
通過高精度平臺及控制系統,搭配更高效率的光學設計架構,匹配大幅面玻璃基板對通孔工藝及效率的雙重要求。
產品特點

高精度動態跟隨運動平臺,配合高響應運動控制模塊,使玻璃改質加工具備快速、準確、高效特性

定制化成套光路系統,適用于多種玻璃材料加工,工藝效果穩定可靠

多種視覺定位模式,可適應Mark、外輪廓等定位方式

控制軟件由帝爾自主研發,支持中英文操作,交互體驗更友好

應用領域
玻璃基芯片封裝、顯示芯片封裝等
技術指標
基板尺寸
<650x650mm向下兼容
進料方式
機械手/滾輪
加工形式
激光+高精密運動平臺
平臺速度
≤1400mm/s
通孔形狀
圓孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽
最小孔徑
5μm
平臺精度
重復定位精度≤±1.5um;定位精度≤±3um
圖形位置精度
≤±5μm @600mm范圍;≤±3μm @300mm范圍
設備產能
≥5000 points/s

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